半导体行业是一个高度技术密集型的产业,其产品广泛应用于各个高科技领域,不仅限于计算机、通信设备、照明、电子产品、工业控制、军事系统,在仪器以及医疗设备领域更是发挥着重要的作用,特别是在需要高精度、快速响应和稳定性方面。
在半导体行业中,旋转蒸发仪在以下几个方面发挥着重要作用:
01溶剂回收
在半导体制造过程中,经常使用各种溶剂进行清洗、蚀刻等步骤。这些溶剂可以通过旋转蒸发仪回收再利用,减少成本并降低环境污染。
02前驱体溶液制备
制备用于化学气相沉积(CVD)、原子层沉积(ALD)等工艺中的前驱体溶液时,需要精确控制溶剂的比例。旋转蒸发仪可以用来浓缩或调整溶液的浓度。
03表面处理
对半导体材料进行表面处理时,可能会用到含有特定溶剂的溶液。旋转蒸发仪可以帮助去除这些溶剂,留下纯净的处理层。
04研发实验
通过对半导体材料、工艺和使用技术的探索和改进,对人类生活、医疗生活、工业方面都有着深远的影响。在研发新的半导体材料或工艺时,旋转蒸发仪可以作为一种通用的溶剂处理设备,帮助研究人员进行样品制备、纯化等工作。
半导体行业的制造以及处理工艺对清洁度要求极高,使用旋转蒸发仪时必须确保设备本身的洁净度,避免引入任何杂质影响最终产品的性能。因此需要定期进行仪器的清洁与维护,使用前彻底清洁所有玻璃件和金属部件,使用适合的溶剂(如丙酮、异丙醇)去除油脂和残留物,清洁后,使用高纯度的溶剂冲洗,必要时进行干燥处理。
使用高品质溶剂,确保所用溶剂的纯度符合半导体级要求,避免因溶剂自身含有的杂质而污染样品;另外,需要在洁净室或超净工作台中使用旋转蒸发仪,以减少空气中颗粒物和微生物的污染,控制操作区域的温度和湿度,避免冷凝水的形成,减少微生物生长的可能性。此外,对于一些特殊溶剂或者敏感材料的操作,还需要特别注意操作条件的选择,比如温度、压力等参数的设置。
因此尽可能使用满足半导体行业要求的旋转蒸发仪,更高的清洁度、更强的密封性和更好的耐腐蚀性可以保证最终产品的性能及可靠性。
Heidolph旋转蒸发仪所配置的密封圈由高抗腐蚀性PTFE-FKM所制成,结合了聚四氟乙烯(PTFE)和氟橡胶(FKM)的优点,能够确保设备在苛刻的实验室条件下保持良好的性能和持久的密封能力,提供了可靠的密封解决方案。
Heidolph PTFE-FKM密封圈的主要优势:
耐化学性和耐老化性
PTFE的耐化学性强,可以抵抗多种化学品的侵蚀。FKM同样具有良好的耐化学性,尤其对于油类、燃料和某些溶剂具有很好的抵抗力。同时,FKM具有较高的机械强度和耐磨性,能够承受一定的压力和磨损,在长时间投入使用后仍能保持良好的性能。
耐温范围广
PTFE具有广泛的耐温范围,可以在低温至高温下保持其性能。FKM也可以在较宽的温度范围内保持良好的弹性。
低摩擦系数
PTFE的摩擦系数低,在密封过程中产生的摩擦较小,有利于延长设备的使用寿命。
低气体渗透性
PTFE的低气体渗透性有助于维持真空状态,这对于旋转蒸发仪等需要真空环境的设备非常重要。
Heidolph 旋转蒸发仪所使用的玻璃组件均由肖特玻璃制成,具有如下特点:
抗腐蚀、耐磨损
Heidolph 的玻璃组件具有高抗腐蚀性、抗热冲击性、耐外压以及长寿命等特点。它能够承受各种酸碱、腐蚀性介质的侵蚀和摩擦磨损。其均匀、透明、光滑的表面,便于实验前后的清洁,它还具有抗紫外线的能力,而且玻璃管的高透明度和视觉效果不会受到涂层的影响。这些特性不仅有助于提高实验的准确性,还能延长设备的使用寿命,确保实验的安全性。
稳定的密封性
Heidolph 玻璃组件的生产工艺加工精度高,尺寸一致性好,冷凝器拥有标准端口直径和法兰尺寸,可以与其他材料直接气密密封,从而加强了真空系统的密封性,降低了真空度泄露的风险,提高了实验进度和效率。
Heidolph旋转蒸发仪所使用的管路系统满足严格的卫生标准,采用高质量的材料和严格的制造工艺,使得它们能够在特定的应用环境中安全有效地使用,还可以确保在蒸馏过程中不会对输送的样品造成污染。此外,Heidolph旋转蒸发仪的管路还具有如下优势:
高度耐腐蚀
能够抵御酸、碱、盐等化学物质的侵蚀,确保输送的样品不受腐蚀性物质的影响。具有优异的耐久性,使用寿命长,不会轻易受到破损和腐蚀,减少了更换和维修的频率。
高温抗性和高强度
能够承受高温环境下的使用,不会变形或释放有害物质。具有较高的强度和耐压性能,能够承受较大的水压力,有利于系统的稳定运行。
安全卫生
不含有害物质,不会对水质或食品产生污染,确保输送样品的安全卫生。